PEV-1美國HEY壓電閥

發(fā)表時間：2011/4/15 點(diǎn)擊次數(shù)：1809

壓電閥是為了適用于要求控制氣體流量的場合，主要應(yīng)用領(lǐng)域包括: 磁控濺射，光學(xué)鍍膜，太陽能電池，ITO，等離子體刻蝕等。

特點(diǎn)

1. 控制模式：開環(huán)控制和閉環(huán)控制

2. 易于集成：可與國產(chǎn)自動壓強(qiáng)控制儀配套使用，來實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，達(dá)到穩(wěn)定壓強(qiáng)的目的，性價(jià)比高，同時亦可選擇進(jìn)口壓強(qiáng)控制儀

   3性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長.
4.     響應(yīng)時間快
5.     無機(jī)械連接件，無伺服馬達(dá)，無磨損，在斷電的情況下可實(shí)現(xiàn)自動關(guān)閉的特點(diǎn)

技術(shù)參數(shù)

流量 0-500 scmm

響應(yīng)時間 2 毫秒

集成漏率 5×10^-8sml/sec

驅(qū)動電壓 0-100VCD/0-24VDC

電路連接標(biāo)準(zhǔn)BNC接頭（Q9）

溫度范圍 10⁰C至60⁰C

zui大入口壓強(qiáng) 50PSI

重量 800克

壓電閥是我們公司的一大特色，歡迎廣大用戶：劉曙東我們將竭誠為你服務(wù)！

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