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| 功能，參數(shù)，或技術(shù)規(guī)范 | XTC/3S單層膜 | XTC/3M多層膜 |
| 測量分辨的頻率變化 | ＋0.05Hz | ＋0.05Hz |
| 測量區(qū)間 | 0.25秒 | 0.25秒 |
| 厚度和速率分辨/測量 | 0.06A,在工具/密度＝100 | 0.06A,在工具/密度＝100 |
| | 基頻＝6M Hz | 基頻＝6M Hz |
| 支持XTAL2轉(zhuǎn)換 | 是 | 是 |
| 計(jì)算機(jī)通訊 | RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件 | RS232標(biāo)準(zhǔn),以太網(wǎng)TCP/IP選件 |
| zui大RS232波特率 | 115.2千波特 | 115.2千波特 |
| 繼電器數(shù) | 12標(biāo)準(zhǔn), 無事例可 | 12標(biāo)準(zhǔn), 事例可 |
| 可編程繼電器功能數(shù) | 1 | 1 |
| 每個(gè)繼電器功能 | 1 | 1 |
| 繼電器電壓額定值 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 |
| | 42V峰,在2.5安 | 42V峰,在2.5安 |
| 輸入數(shù) | 8TTL, 24伏直流zui大 | 8TTL, 24伏直流zui大 |
| 可編程輸入功能數(shù) | 1, 無事例可 | 1, 事例 |
| 記入儀輸入數(shù) | 1 | 1 |
| 手動(dòng)電源/手持控制器 | 是 | 是 |
| 排風(fēng)扇 | 無 | 無 |
| 測試模式 | 是 | 是 |
| 擋光器延遲 | 是 | 是 |
| 次級工具 | 是 | 是 |
| zui大允許相移頻率 | 1.0 M Hz | 1.0 M Hz |
| 機(jī)箱尺寸 | 1/2機(jī)架,2U高度 | 1/2機(jī)架,2U高度 |
| 速率和膜厚顯示分辨 | 0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從 100至999A/秒 | 0.1A秒, 從0.0至99.9A/秒;1A/秒, 從 100至999A/秒 |
| | 顯示膜厚分辨=1A | 顯示膜厚分辨=1A |
| 通過輸入選擇鍍層 | 是 | 否 |
| 用戶指導(dǎo)語言 | 英文，中文 | 英文，中文 |
| 控制環(huán) | PID | PID |
| 數(shù)據(jù)登錄 | 是 | 是 |
| 質(zhì)量和穩(wěn)定性功能 | 是 | 是 |
| 樣品和保持 | 是 | 是 |
| 坩堝選擇 | 是 | 是 |
| 坩堝反饋輸入 | 是 | 是 |
| 選擇控制電壓極性 | 是，+/-2.5，5，10伏 | 是，+/-2.5，5，10伏 |
| | 15-位分辨率 | 15-位分辨率 |
| 程序鎖定碼 | 是 | 是 |
| 用戶標(biāo)簽過程/鍍層 | 否 | 是 |
| XTC/2 RS232通訊兼容性 | 是（有限的） | 是（有限的） |
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