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EXTORR四極質(zhì)譜分析儀

發(fā)表時(shí)間：2012/5/4      點(diǎn)擊次數(shù)：3424

 

特點(diǎn)及應(yīng)用：
•操作簡(jiǎn)單
•可靠，方便
•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
•定性或定量分析監(jiān)測(cè)濺射鍍膜反應(yīng)工藝過(guò)程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)
•優(yōu)化工藝過(guò)程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量
•對(duì)真空系統(tǒng)檢漏
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