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INFICON薄膜鍍層控制儀的性能特點(diǎn)

更新時(shí)間:2015-09-18      點(diǎn)擊次數(shù):2006
INFICON薄膜鍍層控制儀的性能特點(diǎn):
 
a)INFICON Modelock技術(shù)確保的穩(wěn)定性,甚至在非常低的速率下也能有zui高的分辨率和膜厚測(cè)量精度。
b)Auto Z由自動(dòng)確定沉積材料的Z-比值來(lái)提高膜厚的精度。
c)同時(shí)多至6個(gè)蒸發(fā)源的共鍍膜。
d)彩色的TFT LCD顯示器使您對(duì)整個(gè)鍍膜進(jìn)程一目了然。
e)掃描100毫秒樣品的分辨率為+/-0.0035Hz。
f)USB數(shù)據(jù)貯存用于截屏,配方貯存和數(shù)據(jù)記錄。
g)強(qiáng)有力的I/O具有靈活性(用擴(kuò)展的輸入(28)和輸出(24繼電器,14TTL輸出)集成在單個(gè)或復(fù)雜系統(tǒng)中,和使用邏輯功能(100邏輯語(yǔ)句)
h)6DAC輸出標(biāo)準(zhǔn),6個(gè)用于源控制,速率或膜厚監(jiān)測(cè)的附加選件。
i)容納50過(guò)程,每過(guò)程200膜層,可鏈接zui大10,000膜層。
j)多傳感謝器取平均值,多至8傳感器。
k)顯示速率分辨高至0.001A/秒
l)4米XIU選件為大型系統(tǒng)提供可使用長(zhǎng)的真空內(nèi)傳感器電纜的能力。
m)以太網(wǎng)通訊選件。
n)RoHS認(rèn)證
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