美國(guó)MKS公司出品的GE50A質(zhì)量流量計(jì)*通知

    我公司有全新美國(guó)MKS公司出品的GE50A質(zhì)量流量計(jì)（貨號(hào)：GE50A004201S5V020；Ar，20SCCM,1/4卡套接口，RS485通訊）1臺(tái)，現(xiàn)**。請(qǐng)有意者詳詢。

GE50A彈性密封數(shù)字型質(zhì)量流量控制器

      MKS  GE50A是通用型彈性密封流量控制器，適合流量范圍在5SCCM至50SLM的各種氣體流量控制。該GE50A控制器采用了的數(shù)字流量控制的電子原件及技術(shù)的熱傳感器和機(jī)械設(shè)計(jì)。

       GE50A數(shù)字流量控制器可用于模擬和數(shù)字I/O，采用的MKS控制算法，對(duì)設(shè)備設(shè)定控制范圍提供快速、重復(fù)性好響應(yīng)。典型的反應(yīng)時(shí)間是500毫秒的量級(jí)，包括一個(gè)相對(duì)于精度1％的標(biāo)定氣體的數(shù)字校準(zhǔn)功能。能*替代那些相同的I/ O類型的1179A流量計(jì)，所有的GE50A都包括MODBUS備用I/O。

       GE50A使用廣泛用于流量為5SCCM至50SLM的流量計(jì)的3英寸標(biāo)準(zhǔn)尺寸，無(wú)需修改現(xiàn)有的氣體管線配置。GE50A設(shè)計(jì)采用了zui小的使用彈性體，只有一個(gè)外彈性體密封件和彈性體閥塞。所有的濕潤(rùn)表面是金屬的，根據(jù)不同的氣體可選擇Viton、Neoprene、Kalrez等密封方式，閥門可選擇常閉或常開(kāi)。