前級(jí)泵抽速選擇

排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力低于臨界值，選用的前級(jí)泵必須能將主泵的zui大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：

PnSg≥PgS 或

Sg≥Pgs/Pn

Sg－前級(jí)泵的有效抽速(l/s)

Pn－主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)(zui大排氣壓強(qiáng))(l/s)

Pg－真空室zui高工作壓強(qiáng)(托)

S－主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)